手动定位装置
【重复定位精度：3μm】

ModelVXE/VXF

手动

VXE/VXF
手动作业操作简单，能实现托盘和基板的高精度定位：３μｍ
手动定位装置，仅通过螺栓的拧紧作业即可实现高精度定位。
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产品情报

z1

■特长

02

■动作原理

03

■使用范例

c1

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