負圧セーフティバルブ

ModelBWF

制御バルブ
－0.1～0.7MPa

BWF
真空搬送での非常時にも負圧を保持する、負圧用の安全バルブです。
ロボット搬送による搬送物の落下を防止します。低発塵グリスを採用し、
半導体製造装置やFA・ロボット自動化設備での使用に最適です。
※カタログは現在作成中です。詳細はお問い合わせください。
  • カタログPDF

製品情報

■特長

特長