双腕スカラロボットによる基板の搬送、検査工程

ロボットハンドチェンジャーが双腕スカラロボットduAro2(川崎重工製)
による基板の搬送、検査工程に採用
ガタのない位置再現精度3μmで、ロングアームでも先端のブレは極小